探針可以將質譜測定技術與離子發射顯微鏡技術相結合作為現代儀器分析方法。能提供一般質譜分析所不能提供的試樣微區質譜。由于它能對固體物質作微區、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測靈敏度可達ppb數量級，因此被廣泛用于半導體、冶金、地質和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過磁場完成質荷比分離，根據二次離子的質荷比和強度來進行定性和定量分析。